杀菌效率最高的蒸汽是过热蒸汽。

过热蒸汽的温度超过100℃，其温度远高于常规蒸汽，因此它具有更高的杀菌效率。在高温下，过热蒸汽能够更迅速地破坏微生物的细胞结构，从而达到杀菌的效果。

相比之下，饱和蒸汽的温度稳定在100℃，虽然它也能杀菌，但效率可能稍逊于过热蒸汽。而过热水蒸气的杀菌效率则更低，因为其温度可能未达到最佳杀菌温度。

因此，在需要高效杀菌的场合，如医疗、食品加工等行业，过热蒸汽是一个理想的选择。