7纳米。根据中国科技网查询显示，2050i光刻机是阿斯麦公司生产的一款深紫外线光刻系统，可以7纳米，是一款高效的双级浸润式光刻工具，专为在先进节点批量生产300毫米晶圆而设计，每小时可生产295片晶圆。