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光刻机汞灯炸原因

2024-10-15 15:41:15

受到环境中温度和电压强度的影响。根据道客巴巴显示汞灯在发光的过程中受到环境中温度和电压强度的影响较大,故而在所有的光刻设备中属于容易发生故障的器件或者爆炸。光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。