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晶片镀膜,提高膜基结合力的方法

2024-10-18 17:44:48

表面处理,溅射前处理。1、表面处理:通过机械处理、化学处理等方式来改变表面性质,增加表面粗糙程度,提高粘附力。2、溅射前处理:通过在真空镀膜前使用离子束轰击、离子清洗超声波清洗等方法来清除表面上的杂质和污染物,减少表面缺陷,提高真空蒸镀的粘附力。