1、在测量平面内放置一个平面板，使其表面平整且完全接触测量平台。保证平面板上任何两点都不高于千分表测量范围。2、将千分表置于平面板上，并将标尺调至零位。然后以平面板为基准，以慢速移动千分表的三个轴，分别进行测量。在每个轴上移动时，都需要转动旋钮进行微调，直到标尺指示值无法再调节为止。记录每次调整时的标尺指示值。3、移动完所有轴后，再把千分表检查一遍，看到各轴的标尺指示值有无变化。若有，则需重新调整直至标尺指示稳定。4、取出千分表，记录下此时的三个轴测量数据。然后将千分表移动到一个新位置，并重复如上操作，记录下新轴数据。在一组数据中，一定要记住先将标尺调至零位，避免误差。5、拿到所有测量数据后，计算三轴之间的误差值，即可得到三轴的平行度和垂直度数据。