1、将金属镶和金属锌混合，得到混合原料。2、在保护气体和氧气的混合气体中，将衬底置于所述混合原料的上方，进行热氧化反应。3、在所述衬底表面得到所述由锌、镓和氧组成的化合物，即氟锌镓盐。