该情况即可能短路也可能开路。mos击穿后，多数情况下会形成短路，当mos管的栅极电压超过其击穿电压时，栅极与源极和漏极之间会发生永久性导通，使得mos管失去了绝缘性能，mos管相当于一个短路。在栅极电压低于击穿电压时，但仍然高于器件的额定电压，在这种情况下，虽然栅极与源极和漏极之间没有立即形成导通，但击穿会导致电介质的绝缘性能受损形成开路。