懂视

光刻机会爆炸吗

2024-12-02 10:58:21

会。光刻机里的汞灯在发光的过程中受到环境中温度和电压强度的影响较大,故而在所有的光刻设备中属于容易发生故障的器件或引发光刻机爆炸。光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。