真空炉打开扩散泵开关就跳闸的原因是：1、电机负载。此时电流过高，如超过电控箱设置的电流时，真空泵会自行跳闸、脱闸，此时为真空泵的正常现象，可调高电流保护上限来解决跳闸现象2、长时间停用。真空泵停用时间过长可能会引起电机负载，则进一步导致暂时性电流过高，这种情况下封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可3、电机接在两相电源上，未启用三相电源，可接通真空泵三相电源即可，如果运转十小时左右还出现跳闸、脱闸等情况，还是调整过电流上限即可。