该机构排名全国第三。中科院半导体所成立于1960年，是集半导体物理、材料、器件及其应用于一体的半导体科学技术的综合性研究机构。该所拥有14个科研机构，与地方政府、科研机构、大学和企业等共建了1个院士工作站、3个研发（转移）中心、9个联合实验室。该所共有职工690余名，在学研究生近600名。