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晶圆金属层出现异物铜
2024-09-27 17:01:53
在制造过程中混入铜杂质。晶圆金属层出现异物铜是因为在制造晶圆金属层时,使用的金属材料包括铜、铝、金等元素或合金材料,而铜元素是一种常见的杂质,在制造过程中混入晶圆金属层中,从而形成异物铜。