1Pa（帕斯卡）至10^-5Pa的范围内。电子探针的喷碳和抽真空是为了在探针表面形成一层薄膜，以提供更好的导电性和保护探针表面。抽真空是为了去除空气和杂质，以确保薄膜的质量和性能。在1Pa（帕斯卡）至10^-5Pa的范围内进行抽真空，以确保空气和杂质被彻底去除。