利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。显微描绘装置的原理是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。利用逐点成像，将试样表面的不同特性，按照先后顺序及比例变换成影像，例如二次电子像等。