稳定性差、质量差。1、稳定性差：在阴极斑处有很高的亮度和等离子体密度，阴极斑的位置具有不确定性并且放电的，稳定性较差。2、质量差：真空弧离子源普遍存在易碎、易掉粉、放电等离子体中的杂质较多等缺点。