泄漏，污染，渗漏。1、泄漏：真空系统中存在泄漏，使得真空度下降。2、污染：真空系统中存在污染物质或者沉积物，导致真空度下降。3、渗漏：真空系统中存在渗漏，使得气体进入真空系统，导致真空度下降。