懂视
晶圆顶针会磨损吗?
2024-09-06 15:24:37
会。在工作时,晶圆夹持装置上的用于夹持晶圆的夹持顶针往往会出现一定的磨损,甚至可能断裂,因而不能将晶圆牢固地固定在卡盘上。