岛津液相错误代码162a原因是：氘灯故障或者电路板故障。泵报错HOMEPOS，代表传感器无法检测到电动机的原始位置，电动机不能运行或是空转。脱气机报错是因为脱气机内的真空腔真空度下降，真空泵不能在真空腔内有效地制造负压环境。