根据网易新闻网站显示。1、扫描电子束斑直径。扫描电镜的分辨率不会小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）。2、入射电子束在样品中的扩展效应。3、成像所用信号种类。与信号本身的能量和信号取样的区域范围，以二次电子为调制信号和以背散射电子不一样，后者分辨率低于前者。