定义区别，范围区别。1、定义区别：亚1纳米是指小于1纳米的尺寸，表示尺寸在纳米尺度下的亚细粒度。1纳米单位长度的译名，即为毫微米。2、范围区别：亚1纳米技术指的是在半导体制造过程中的一种工艺，其涉及的尺寸范围为0.5至1纳米之间，即介于亚纳米尺寸范围内的工艺。1纳米是一个长度单位，没有特定的范围限制，只是表示一个具体的尺寸。