1、首先需要获取待测样品的xps光谱，是通过使用x射线照射样品表面，然后分析发射出的光电子的能量分布来实现的。2、其次在xps光谱中，每个元素都有其特定的光电子能量分布，即特征峰，通过识别这些特征峰，可以确定样品中存在的元素种类。3、最后素的价态与其特征峰的位置有关，不同的价态会对应不同的电子结合能。