该系统工作原理主要依赖于静电力。静电mems振镜是一种基于微机电系统技术制作而成的微小可驱动反射镜。静电mems振镜的工作原理主要依赖于静电力。静电力是电荷之间的相互作用力，当施加在mems振镜上的电场改变时，振镜的形状也会发生相应的变化，从而实现对反射光束的控制。静电mems振镜的驱动方式主要有四种：电热驱动、静电驱动、电磁驱动和压电驱动。其中，静电驱动的mems振镜研究最早最成熟，它的驱动电压相对较高，偏转角度小，扫描频率高，适合微型投影和光通信产品。