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压阻式压力传感器如何改进可以用来测量真空度

2024-11-04 09:41:19

增加一个参考真空室。当用于测量真空度时,由于传感器处于真空环境中,其参考压力为零,因此需要增加一个参考真空室来提供一个稳定的真空参考压力。