将图形转移的过程、是复杂的物理化学过程、是半导体器件的步骤。1、光刻扫描路径，是指利用特定波长的光进行辐照，将掩膜板上的图形转移到光刻胶上的过程。2、光刻扫描路径是一个复杂的物理化学过程，具有大面积、重复性好、易操作以及成本低等特点。3、光刻扫描路径是半导体器件与大规模集成电路制造的核心步骤。