1.应用领域不同：EUV光刻技术被广泛应用于半导体制造领域，尤其是在先进制程技术中扮演着重要角色。2.波长范围不同：EUV技术的波长主要集中在极紫外波段，具有高能量和短波长的特点，这使得它能够在集成电路制造过程中实现高精度加工。3.DUV技术涵盖了紫外线的多个波段，波长范围较宽，因此在工业加工和材料加工领域有着广泛的应用。4.技术原理与特点：EUV和DUV技术各有其独特的原理和特点，分别适用于不同的应用场景和需求。5.发展前景：随着技术的不断进步和创新，EUV和DUV技术在未来都有广阔的应用和发展空间，将进一步推动工业制造等领域的发展。